如今在微電子工業(yè),計(jì)算機(jī)、通信及電子設(shè)備制造業(yè),醫(yī)院手術(shù)室、麻醉室等等,由于其周圍環(huán)境中存在大量的靜電,靜電會(huì)對(duì)周圍的電子產(chǎn)品會(huì)造成一定的危害,不僅是對(duì)機(jī)器,儀器等造成危害,同樣靜電過多對(duì)人體也是一種威脅,抗擊靜電已成為了電子廠,計(jì)算機(jī)房等地的重要的不可忽略的事情。所以,這些場(chǎng)所的地坪都需要采用防靜電地坪以達(dá)到消除靜電的目的。
靜電作為一種普遍物理現(xiàn)象,近十多年來(lái)伴隨著集成電路的飛速發(fā)展和高分子材料的廣泛應(yīng)用,靜電的作用力、放電和感應(yīng)現(xiàn)象引起的危害也逐漸增加。由于靜電的產(chǎn)生是不可避免的,若產(chǎn)生的靜電沒有得到及時(shí)的泄放,便可能積聚起來(lái)。積聚的靜電荷可吸引周圍微粒而引起灰塵的堆積、纖維糾結(jié)及污染物資等。當(dāng)然,靜電積聚最大的危害還是可產(chǎn)生火花放電,導(dǎo)致火災(zāi)、爆炸等嚴(yán)重事故。
一般來(lái)講,涂膜表面電阻值在1012Ω以下即可消除積累在涂膜表面的靜電荷。而防靜電工作區(qū)采用的防靜電工程材料主要分成以下三種:
1. 靜電屏蔽材料(表面電阻或體積電阻小于1.0×103Ω);
2. 導(dǎo)靜電材料(表面電阻或體積電阻2.5×104Ω-1.0×106Ω(不含1.0×106Ω));
3. 靜電耗散材料(表面電阻或體積電阻1.0×106Ω-1.0×109Ω)。防靜電地坪常見的有:防靜電水磨石地坪;防靜電環(huán)氧自流平地坪,防靜電PVC地坪,防靜電活動(dòng)電板地坪等。
相關(guān)術(shù)語(yǔ)和定義
表面電阻(surface resistance):防靜電地坪表面一定間距內(nèi)兩電極的電阻。
體積電阻(volume resistance):將兩電極置于試樣的相對(duì)兩表面上所測(cè)得的電阻。
防靜電工程專用儀表測(cè)試說(shuō)明:
一、測(cè)試依據(jù)
GB 50944-2013《防靜電工程施工與質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》、GB50611-2010《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB50591-2010 《潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范》等(不同場(chǎng)所對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)不一樣)
二、測(cè)試條件
1. 環(huán)境溫度在0~40℃;
2. 相對(duì)濕度不大于85%(無(wú)凝露);
三、測(cè)試儀器
絕緣電阻測(cè)試儀、數(shù)字兆歐表等;
四、工作原理
絕緣電阻測(cè)量工作原理
由機(jī)內(nèi)DC/AC變換器將直流變?yōu)榻涣鞯牡皖l恒流,經(jīng)過輔助接地極C和被測(cè)物E組成回路,被測(cè)物上產(chǎn)生交流壓降,經(jīng)輔助接地極P送入交流放大器放大,再經(jīng)過檢波送入表頭顯示。借助倍率開關(guān)可得到三個(gè)不同的量限:0—2Ω、0—20Ω、0—200Ω。
五、測(cè)試方法
1. 按圖1的a、b所示,劃分測(cè)試網(wǎng)格;
2. 按圖1的c、d所示,隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn);
3. 根據(jù)《防靜電工程施工與質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范GB 50944-2013》的要求進(jìn)行抽樣,將待測(cè)地坪全部網(wǎng)格看做樣本大小(批量范圍),以一般檢查水平II,確定樣本大小字碼;再用“正常檢查一次抽樣方案”。
4. 以合格質(zhì)量水平(AQL)為6.5,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖1的e 所示,測(cè)試地坪表面電阻。
5. 以合格質(zhì)量水平(AQL)為10,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖1的f 所示,測(cè)試地坪對(duì)地極母線電阻。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
防靜電工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)有很多,分國(guó)內(nèi)、國(guó)外標(biāo)準(zhǔn);舊版、新版標(biāo)準(zhǔn);國(guó)家、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等,隨著防靜電產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,很多標(biāo)準(zhǔn)得以建立或修訂完善,以規(guī)范我們的生產(chǎn)作業(yè)、指導(dǎo)我們的工作。在這里只給出部分驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
GB50591-2010 《潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范》
1. 在有220V及其以上電壓的場(chǎng)所,其防靜電地坪宜使用靜電耗散型的材料,其表面電阻應(yīng)為1.0×105 ~1.0×1010Ω或體積電阻為1.0×104 ~1.0×109Ω。
2. 除地坪以外的圍護(hù)結(jié)構(gòu)面層(面板)應(yīng)選用表面電阻在1.0×105~1.0×1010Ω的靜電耗散型材料制作。
SJ/T 31469-2002 《防靜電地坪施工及驗(yàn)收規(guī)范》
1. 防靜電水磨石地地坪
防靜電性能參數(shù)應(yīng)符合以下指標(biāo):
1) 系統(tǒng)電阻5.0×104-1.0×109Ω;
2) 表面電阻1.0×106-1.0×1010Ω;
3) 系統(tǒng)接地電阻應(yīng)滿足設(shè)計(jì)要求。
2. 防靜電聚氨酯自流平地面
防靜電聚氨酯自流平地面電性能指標(biāo)應(yīng)符合以下規(guī)定:
1) 系統(tǒng)電阻5.0×104-1.0×109Ω;
2) 表面電阻1.0×105-1.0×1010Ω;